Bên trong Dia 123mm Thép không gỉ Mục tiêu Mật độ cao

OD150 * ID123 * 1091 Mục tiêu ống thép không gỉ 304 bằng thép không gỉ

Vật liệu mục tiêu trong ngành công nghiệp bán dẫn.Vật liệu bán dẫn có thể được chia thành vật liệu wafer và vật liệu đóng gói.Vật liệu đóng gói có rào cản kỹ thuật thấp hơn so với vật liệu sản xuất wafer. Có bảy loại vật liệu bán dẫn và hóa chất tham gia vào quá trình sản xuất tấm wafer, một trong số đó là vật liệu mục tiêu phún xạ. Vật liệu mục tiêu là vật liệu bị bắn phá bởi các hạt tích điện tốc độ cao. Bằng cách thay đổi các vật liệu mục tiêu khác nhau (chẳng hạn như mục tiêu nhôm, đồng, thép không gỉ, titan, niken, v.v.), có thể thu được các hệ thống phim khác nhau (chẳng hạn như màng hợp kim siêu cứng, chống mài mòn, chống ăn mòn, v.v.).

Độ tinh khiết là một trong những chỉ số hiệu suất chính của vật liệu đích, vì độ tinh khiết của vật liệu đích có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của phim. Nhưng trong thực tế, các yêu cầu về độ tinh khiết của các nguyên liệu đích cũng khác nhau. Các tạp chất trong vật liệu rắn và oxy và hơi nước trong các lỗ rỗng là nguồn chính của sự lắng đọng màng. Để giảm độ xốp của vật liệu mục tiêu rắn và cải thiện hiệu suất của màng phún xạ, vật liệu mục tiêu thường được yêu cầu có tỷ trọng cao. Mật độ cũng là một trong những chỉ số hiệu suất quan trọng của vật liệu mục tiêu. Mật độ của vật liệu đích không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phún xạ mà còn ảnh hưởng đến các tính chất điện và quang học của màng mỏng. Mật độ mục tiêu càng cao, hiệu suất tạo màng càng tốt. Ngoài ra, mật độ và độ bền của vật liệu đích có thể được cải thiện bằng cách làm cho vật liệu đích chịu ứng suất nhiệt tốt hơn trong quá trình phún xạ.